
μPhase®
デジタルレーザー干渉計
●本体寸 法110mm×45mm×70mmの超小型・モジュラータイプの位相シフトレーザー干渉計です。
●多彩なトポグラフィ、フレキシブルな波面収差解析を備えた高操作性のユーザーインターフェースを持つμShapeソフトウエアを標準装備。
●トワイマングリーン(フィゾーへ切換可能)干渉計を基本に、口径変換レンズで最大150mmΦまでの平面反射、球面反射、透過波面が測定可能。
1000X1000画素、500X500画素の2タイプの干渉計を基本に、口径変換、球面レンズ(μLens)、専用ステージ&スタンド、ソフトウエアパッケージ全ての構成が選択可能なモジュラーデザイン。セットアップの段取りを、場所を取らず高効率で行うことが出来、ユーザーの機上組込も可能です。
波長は632.8nmを標準にして、355nm~1064nmの多彩な波長に対応可能です。
使用レベルに応じて、Professional (位相シフト干渉計との連携)、Fast Fringe(フリンジ計測)、Analyser(PC解析のみ)のバージョンを用意。Add-on Moduleパッケージ追加で、レンズ透過波面の結像性能解析(PSF/MTF)、ホモジュニティ、非球面、マルチアパーチャー等の解析機能の拡張もできます。
▲µPhase® integrated into a turning machine
Software
▲µShapeTM Interferometer Software
▲Multiple apertures add-on
Technical data