OptoFlat™
平面形状測定用 低コヒーレンス干渉計

InterOptics社の干渉計は、低コヒーレンス干渉原理を使用し、平面形状を簡単に測定することが可能です。小型かつ安定した機械設計でありながら、従来の干渉計と比較して低価格になっています。
■低コヒーレンス干渉原理の特徴
●裏面反射の低減
レーザー干渉計では、平行平面サンプルの測定において、表面の反射波面に、裏面の反射波面が影響し、測定が困難なケースがありますが、低コヒーレンス干渉原理では、短い領域でコヒーレンスを制限することにより、裏面からの干渉の抑制が可能になり、表面のみからの干渉縞が生成されます。
●高出力LED光源
高出力LED光源で使用することにより、きれいな干渉縞を生成し、サブナノメートルレベルの位相測定を行うことができます。また、LEDテクノロジーは、レーザーの安全性の問題を排除し、長時間にわたって高い信頼性を提供します。LEDからの拡張光源は、ほこりや傷による回折によるコヒーレントノイズを低減します。
●平坦度(Flatness)、面粗さ(Waviness)の測定
平坦度の測定結果
面粗さの測定結果