OptoMapper
高分解能大型平面干渉計
OptoMapperは、InterOptics社が新たに開発した大型平面干渉計です。裏面反射の軽減ができる低コヒーレンス干渉原理を用いた干渉計OptoFlatの技術を用いたスティッチング干渉測定が可能です。
＜対象サンプル例＞
・300mm半導体ウエハー
・フォトマスクブランクス
・大型ガラス基板
・サファイア基板 など
φ300mmT90mmサンプルのResidual測定結果の比較
①レーザー干渉計4→12inエクスパンダー
測定空間分解能746μｍ
⇒コヒーレントノイズが大きすぎる/Wavinessが捉えられていない
②OptoMapper
測定空間分解能140μｍ
⇒コヒーレントノイズは無い/輪帯模様（加工痕）が検出できている
