OptiCentric® 101

長年、多くのユーザに導入いただいておりました、OptiCentric100の次世代機が登場しました。

OptiCentric101は、エアーベアリングの方位位置精度の向上により、組レンズの測定精度が向上、より剛性の高い構造により、シングルショットの測定、アライメントが向上しています。また、ステージの移動速度が向上したことにより、より効率的な測定が可能になりました。

最大の特徴は、下記の2種類のタイプの構成から選択することができます。

●可動式オートコリメータ（画像左側）
従来のOptiCentricと同じ構造です。オートコリメータが軸上を移動し、ケラレの影響を最小限に抑えることができます。

●固定式オートコリメータ（画像右側）
オートコリメータが移動軸の上に固定され、対物レンズがＺステージを移動します。それによる、Zステージのロール誤差が低減されます。