OPTICAL TESTING INSTRMENTS DEFACTO STANDARD

Wave Master® PRO2/PRO2 Wafer

全自動高速透過波面収差測定装置(全数測定)

Wave Master PRO2/PRO2 Wafer

WaveMaster PRO2/PRO2 Waferは、携帯電話カメラ用Wafer Lensや各種マイクロレンズアレーの全数波面収差測定を行います。PV値、RMS値、Zernike解析、設計値やマスターに対する差など任意の合否判定を規格できます。ウェハー用の高精度XY自動ステージ(直進度10秒以下)を使い、あらかじめマーキング位置をMachine Vision Lens画像情報から座標を記録し、ソフトウェアにて全数の測定プログラムを作成し、完全自動にて全数測定を行います。ウェハーのたわみを考慮した高精度フランジバック測定を非接触距離センサー(白色共焦点センサ)を使いサブミクロンオーダーでのFFLの測定もオプションにて追加できます。

Technical data

Technical data

Wave Master PRO2/PRO2 Wafer

更新日: 2016/10/10