μPhase®

デジタルレーザー干渉計

●本体寸法110mm×45ｍｍ×70ｍｍの超小型・モジュラータイプの位相シフトレーザー干渉計です。
●多彩なトポグラフィ、フレキシブルな波面収差解析を備えた高操作性のユーザーインターフェースを持つμShapeソフトウエアを標準装備。
●トワイマングリーン(フィゾーへ切換可能）干渉計を基本に、口径変換レンズで最大150mmΦまでの平面反射、球面反射、透過波面が測定可能。

1000X1000画素、500X500画素の２タイプの干渉計を基本に、口径変換、球面レンズ（μLens）、専用ステージ＆スタンド、ソフトウエアパッケージ全ての構成が選択可能なモジュラーデザイン。セットアップの段取りを、場所を取らず高効率で行うことが出来、ユーザーの機上組込も可能です。
波長は632.8nmを標準にして、355nm～1064nmの多彩な波長に対応可能です。

使用レベルに応じて、Professional (位相シフト干渉計との連携)、Fast Fringe(フリンジ計測)、Analyser(PC解析のみ）のバージョンを用意。Add-on Moduleパッケージ追加で、レンズ透過波面の結像性能解析（PSF/MTF)、ホモジュニティ、非球面、マルチアパーチャー等の解析機能の拡張もできます。